本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适用于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。 附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
GB/T 28632-2012由国家质检总局 CN-GB 发布于 2012-07-31,并于 2013-02-01 实施。
GB/T 28632-2012 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法,在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
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