GB/T 28632-2012
表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
Surface chemical analysis.Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.Determination of lateral resolution
GB/T 28632-2012 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 28632-2012
- 发布日期
- 2012年07月31日
- 实施日期
- 2013年02月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 22461-2008
- 适用范围
- 本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适用于横向分辨率预期值大于20nm，小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。 附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
GB/T 28632-2012系列标准
GB/T 28632-2012 中可能用到的仪器设备
激光共聚焦显微镜
顺磁共振波谱仪
感官智能分析系统
超分辨率显微镜
光学成像-CCD相机
生物显微镜
体视显微镜/立体显微镜
扫描电镜SEM
激光器
X射线能谱仪(EDS)
紫外可见分光光度计
透射电镜TEM
液相色谱仪LC
X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪）
光源/氙灯光源/汞灯光源
电镜用X射线能谱仪EDS
气质联用仪
核磁共振波谱仪
拉曼光谱仪
红外光谱仪
MALDI质谱
圆二色光谱
液质联用仪
扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
光纤光谱仪
X射线(衍射)仪/能谱仪部件及外设
电子探针X射线微区分析仪(EPMA)
X射线散射仪
工业显微镜/工具显微镜
X射线显微镜
光学仪器组件
X荧光光谱/XRF（波长色散型）
粘度计
工业CT
硬度计
离心机
活体成像
生物3D打印机
PCR仪
培养仪器/培养箱
辐射仪/射线检测仪
灰霾监测系统
条码扫描仪
三坐标测量机
天平/电子天平/分析天平
粒子图像测速仪(PIV)
声学计量仪器