ASTM E2246-11e1
采用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
说明：
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- 标准号
- ASTM E2246-11e1
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2246-11(2018)
- 当前最新
- ASTM E2246-11(2018)
- 引用标准
- ASTM E2244 ASTM E2245 ASTM E2444 ASTM E2530
- 1.1 该测试方法涵盖了测量反射薄膜中应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪（也称为干涉显微镜）对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。 1.2 本测试方法使用非接触式光学干涉显微镜，能够获取地形 3-D 数据集。它是在实验室进行的。 1.3 本标准并不旨在解决与其使用...
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