ASTM E2246-11e1
采用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
ASTM E2246-11e1 发布历史
ASTM E2246-11e1由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2011。
。
ASTM E2246-11e1 发布之时，引用了标准
- ASTM E2244 采用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法
- ASTM E2245 采用光学干涉仪测量反射薄膜残余应变的标准试验方法
- ASTM E2444 与反射薄膜上测量的相关术语
- ASTM E2530 用Si(111)单原子层级对原子力显微镜进行次纳米位移级的Z倍率校准的标准规程
ASTM E2246-11e1的历代版本如下：
- 2018年 ASTM E2246-11(2018) 使用光学干涉仪的薄的反射膜的应变梯度测量的标准测试方法
- 2011年 ASTM E2246-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
- 2011年 ASTM E2246-11 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
- 2005年 ASTM E2246-05 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
- 2002年 ASTM E2246-02 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
1.1 该测试方法涵盖了测量反射薄膜中应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪（也称为干涉显微镜）对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。 1.2 本测试方法使用非接触式光学干涉显微镜，能够获取地形 3-D 数据集。它是在实验室进行的。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
- 标准号
- ASTM E2246-11e1
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2246-11(2018)
- 当前最新
- ASTM E2246-11(2018)
- 引用标准
- ASTM E2244 ASTM E2245 ASTM E2444 ASTM E2530
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