YS/T 935-2013
电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

Standard guide for analysis and reporting the impurity content and grade of high purity metallic sputtering targets for electronic thin film applications

YST935-2013, YS935-2013

YS/T 935-2013 发布历史

YS/T 935-2013由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 2013-10-17，并于 2014-03-01 实施。

YS/T 935-2013 在中国标准分类中归属于: H68 贵金属及其合金，在国际标准分类中归属于: 77.150.99 其他有色金属产品。

YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南的最新版本是哪一版？

最新版本是 YS/T 935-2013 。

YS/T 935-2013 发布之时，引用了标准

• GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则*， 2017-10-14 更新
• GB/T 20975.1 铝及铝合金化学分析方法 第1部分:汞含量的测定*， 2018-05-14 更新
• GB/T 20975.10 铝及铝合金化学分析方法 第10部分：锡含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.11 铝及铝合金化学分析方法 第11部分：铅含量的测定*， 2018-05-14 更新
• GB/T 20975.12 铝及铝合金化学分析方法 第12部分：钛含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.13 铝及铝合金化学分析方法 第13部分：钒含量的测定*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.14 铝及铝合金化学分析方法 第14部分：镍含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.15 铝及铝合金化学分析方法 第15部分：硼含量的测定*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.16 铝及铝合金化学分析方法 第16部分：镁含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.17 铝及铝合金化学分析方法 第17部分：锶含量的测定*， 2020-09-29 更新
• GB/T 20975.18 铝及铝合金化学分析方法 第18部分：铬含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.19 铝及铝合金化学分析方法 第19部分：锆含量的测定*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.2 铝及铝合金化学分析方法 第2部分:砷含量的测定*， 2018-05-14 更新
• GB/T 20975.20 铝及铝合金化学分析方法 第20部分：镓含量的测定 丁基罗丹明B分光光度法*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.21 铝及铝合金化学分析方法 第21部分：钙含量的测定*， 2020-09-29 更新
• GB/T 20975.22 铝及铝合金化学分析方法 第22部分：铍含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.23 铝及铝合金化学分析方法 第23部分：锑含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.24 铝及铝合金化学分析方法 第24部分：稀土总含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.25 铝及铝合金化学分析方法 第25部分：元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.26 铝及铝合金化学分析方法 第26部分：碳含量的测定 红外吸收法
• GB/T 20975.27 铝及铝合金化学分析方法 第27部分:铈、镧、钪含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法*， 2018-05-14 更新
• GB/T 20975.28 铝及铝合金化学分析方法 第28部分：钴含量的测定 火焰原子吸收光谱法*， 2019-06-04 更新
• GB/T 20975.29 铝及铝合金化学分析方法 第29部分：钼含量的测定 硫氰酸盐分光光度法*， 2019-06-04 更新
• GB/T 20975.3 铝及铝合金化学分析方法 第3部分：铜含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.30 铝及铝合金化学分析方法 第30部分：氢含量的测定 加热提取热导法*， 2019-06-04 更新
• GB/T 20975.31 铝及铝合金化学分析方法 第31部分：磷含量的测定 钼蓝分光光度法*， 2019-06-04 更新
• GB/T 20975.32 铝及铝合金化学分析方法 第32部分：铋含量的测定*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.33 铝及铝合金化学分析方法 第33部分：钾含量的测定 火焰原子吸收光谱法*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.34 铝及铝合金化学分析方法 第34部分：钠含量的测定 火焰原子吸收光谱法*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.35 铝及铝合金化学分析方法 第35部分：钨含量的测定 硫氰酸盐分光光度法*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.36 铝及铝合金化学分析方法 第36部分：银含量的测定 火焰原子吸收光谱法*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.37 铝及铝合金化学分析方法 第37部分：铌含量的测定*， 2020-07-21 更新
• GB/T 20975.4 铝及铝合金化学分析方法 第4部分：铁含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.5 铝及铝合金化学分析方法 第5部分：硅含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.6 铝及铝合金化学分析方法 第6部分：镉含量的测定*， 2020-09-29 更新
• GB/T 20975.7 铝及铝合金化学分析方法 第7部分：锰含量的测定*， 2020-06-02 更新
• GB/T 20975.8 铝及铝合金化学分析方法 第8部分：锌含量的测定*， 2020-11-19 更新
• GB/T 20975.9 铝及铝合金化学分析方法 第9部分：锂含量的测定 火焰原子吸收光谱法*， 2020-06-02 更新
• GB/T 29658 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
• YS/T 871 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
• YS/T 922 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

* 在 YS/T 935-2013 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

YS/T 935-2013的历代版本如下：

• 2013年 YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

本标准规定了电子薄膜制备用高纯金属建设靶材的纯度等级的定义方法、杂质含量分析方法、抽样规则及靶材纯度等级报告标准规范等内容。本标准适用于电子薄膜用各类高纯金属溅射靶材(以下简称靶材)。其他对纯度有较高要求的靶材纯度等级、杂质含量分析及报告规范也可参照使用。

标准号

YS/T 935-2013

别名

YST935-2013
YS935-2013

发布

2013年

发布单位

行业标准-有色金属

当前最新

YS/T 935-2013

 

 

引用标准

GB/T 14265 GB/T 20975.1 GB/T 20975.10 GB/T 20975.11 GB/T 20975.12 GB/T 20975.13 GB/T 20975.14 GB/T 20975.15 GB/T 20975.16 GB/T 20975.17 GB/T 20975.18 GB/T 20975.19 GB/T 20975.2 GB/T 20975.20 GB/T 20975.21 GB/T 20975.22 GB/T 20975.23 GB/T 20975.24 GB/T 20975.25 GB/T 20975.26 GB/T 20975.27 GB/T 20975.28 GB/T 20975.29 GB/T 20975.3 GB/T 20975.30 GB/T 20975.31 GB/T 20975.32 GB/T 20975.33 GB/T 20975.34 GB/T 20975.35 GB/T 20975.36 GB/T 20975.37 GB/T 20975.4 GB/T 20975.5 GB/T 20975.6 GB/T 20975.7 GB/T 20975.8 GB/T 20975.9 GB/T 29658 YS/T 871 YS/T 922

YS/T 935-2013相似标准

推荐