DIN EN 62047-11:2014
半导体器件. 微型机电装置. 第11部分:微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法 (IEC 62047-11-2013); 德文版本EN 62047-11-2013
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013); German version EN 62047-11:2013
- 标准号
- DIN EN 62047-11:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN EN 62047-11:2014
- 引用标准
- ASTM E228-11 ASTM E289-04 ASTM E831-06 IEC 62047-3-2006
- 被代替标准
- DIN IEC 62047-11:2010
DIN EN 62047-11:2014相似标准
NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 半导体器件. 微型机电装置. 第11部分: 微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法
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