电子级氢氟酸杂质含量检测方案01引言高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。...
8.2 检出限(LOD)和定量限(LOQ)按下列实验步骤确定铅、镉或铬的方法检出限和定量限。a)准确称取适量已知不含铅、镉或铬的样品(例如 ,有证标准物质)或根据第 4 部分中的相关步骤可能会干扰分析的其他化合物。将样品依次放入每个容器中,重复样品至少 5 个。b) 在每个容器中加入 10 铅、镉或铬储备溶液[1 v)]。c) 根据第 4 部分的测试相关步骤进行消解和光谱测定。...
本文件适用于无机氟化物行业中生产无水氟化氢、六氟磷酸锂、高纯氢氟酸、无水氟化铝、氟化氢铵的绿色工厂评价。 10HG/T 6174-2023聚丙烯酰胺行业绿色工厂评价要求 本文件规定了聚丙烯酰胺行业绿色工厂评价总则、评价指标及要求、评价程序和评价报告。 本文件适用于生产固体型、乳液型、水溶液型以及水分散液型聚丙烯酰胺企业绿色工厂的评价。 ...
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