DIN 50451-6-2014
半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素

半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素 是非强制性国家标准，您可以免费下载前三页

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标准号: DIN 50451-6-2014
发布日期: 2014年11月
实施日期
废止日期: 无
中国标准分类号: H80
国际标准分类号: 29.045
发布单位: DE-DIN
引用标准: DIN 32645-2008 DIN 50451-5-2010 DIN EN ISO 8655-2-2002 DIN EN ISO 14644-1-1997 DIN EN ISO 17294-2-2005 DIN ISO 5725-2-2002 DIN ISO 5725-4-2003
被代替标准: DIN 50451-6-2012

DIN 50451-6-2014半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素