DIN 50451-6-2014
半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution

DIN 50451-6-2014 发布历史

DIN 50451-6-2014由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2014-11。

DIN 50451-6-2014 在中国标准分类中归属于: H80 半金属与半导体材料综合，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

DIN 50451-6-2014 发布之时，引用了标准

• DIN 32645-2008 化学分析.重复条件下的决定极限、监测极限和测定极限.术语、方法和评价
• DIN 50451-5-2010 半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.第5部分:在每千克微克和每千克豪微克范围之内的痕量元素测定用样品和样品制备装置的材料选择及其适用性试验指南
• DIN EN ISO 8655-2-2002 活塞式容量测量仪器.第2部分:活塞式吸量管 (ISO 8655-2:2002); 德文版本 EN ISO 8655-2:2002
• DIN EN ISO 17294-2-2005 水质.感应耦合等离子体质谱法(ICP-MS)的应用.第2部分:62种元素的测定
• DIN ISO 5725-2-2002 测量方法与结果的准确度(正确度与精确度).第2部分:标准测量方法的重复性和可再现性测定的基本方法 (ISO 5725-2:1994 包括技术勘误 1:2002)
• DIN ISO 5725-4-2003 测试方法与结果的准确度(正确度与精确度).第4部分:确定标准测量方法正确度的基本方法 (ISO 5725-4:1994)

DIN 50451-6-2014的历代版本如下：

• 2014年11月 DIN 50451-6-2014 半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素

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标准号

DIN 50451-6-2014

发布日期

2014年11月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

发布单位

DE-DIN

引用标准

DIN 32645-2008 DIN 50451-5-2010 DIN EN ISO 8655-2-2002 DIN EN ISO 14644-1-1997 DIN EN ISO 17294-2-2005 DIN ISO 5725-2-2002 DIN ISO 5725-4-2003

被代替标准

DIN 50451-6-2012

DIN 50451-6-2014系列标准

氟化铵 测试方法

安徽省质量技术监督局

US-ASTM