GB/T 1557-1989
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GBT1557-1989, GB1557-1989
GB/T 1557-1989 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 1557-1989
- 别名
- GBT1557-1989
GB1557-1989 - 发布
- 1989年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 1557-2006
- 当前最新
- GB/T 1557-2018
- 本标准规定了用红外吸收测定硅晶体中间隙氧含量的方法。 本标准适用于室 温电阻率大于0.1Ω·cm的硅晶体中氧含量的测量。测量范围为：氧的浓度从3.5×1515at·cm-3至最大固溶度。
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