YS/T 23-2016
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

Test method for thickness of epitaxial layers.Stacking fault size

说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
  • 表示标准的节点，可以拖动；
  • 绿色表示标准：YS/T 23-2016 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。

 

 

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 YS/T 23-2016 前三页，或者稍后再访问。

点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

 

标准号
YS/T 23-2016
发布日期
2016年04月05日
实施日期
2016年09月01日
废止日期
无
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
发布单位
CN-YS
引用标准
GB/T 14264 GB/T 14847
被代替标准
YS/T 23-1992
适用范围
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。 本标准适用于在〈111〉、〈100〉和〈110〉晶向的硅单晶衬底上生长的2 μm~120 μm硅外延层厚度的测量。


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号