YS/T 23-2016
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

Test method for thickness of epitaxial layers.Stacking fault size

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标准号

YS/T 23-2016

发布日期

2016年04月05日

实施日期

2016年09月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

发布单位

CN-YS

引用标准

GB/T 14264 GB/T 14847

被代替标准

YS/T 23-1992

适用范围

本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。 本标准适用于在〈111〉、〈100〉和〈110〉晶向的硅单晶衬底上生长的2 μm~120 μm硅外延层厚度的测量。