GB/T 13387-1992
电子材料晶片参考面长度测量方法
Test method for measuring flat length on slices of electronic materials
GBT13387-1992, GB13387-1992
2010-06
GB/T 13387-1992 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 13387-1992
- 别名
- GBT13387-1992
GB13387-1992 - 发布
- 1992年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 13387-2009
- 当前最新
- GB/T 13387-2009
- 本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。 本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。