DIN EN ISO 14644-2:2016
洁净室和相关控制环境.第2部分:用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据(ISO 14644-2-2015).德文版本EN ISO 14644-2-2015
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015); German version EN ISO 14644-2:2015
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-2:2016
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-2:2016-05
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-2:2016-05
- 引用标准
- ISO 14644-12 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-4:2001 ISO 21501-4:2007 ISO 31000:2009
- 被代替标准
- DIN EN ISO 14644-2:2001 DIN EN ISO 14644-2:2014
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