本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。 本标准适用于测量直径大于10.0mm用外延、扩散、离子注入到硅圆片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。对于厚度为0.2~3μm的薄层,测量范围为250~5000Ω;对于厚度不小于3μm的薄层,薄层电阻的测量下限可达10Ω。
GB/T 14141-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-02-06,并于 1993-10-01 实施,于 2010-06-01 废止。
GB/T 14141-1993 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。
GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 于 2009-10-30 变更为 GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法。
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