本标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流了浓度的原理、仪器与材料、样品制备、测量步骤和数据处理。 本标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值(见附录B)的相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层,也适用于体材料。
GB/T 14863-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-12-30,并于 1994-10-01 实施,于 2014-08-15 废止。
GB/T 14863-1993 在中国标准分类中归属于: L41 半导体二极管。
GB/T 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法 于 2013-12-31 变更为 GB/T 14863-2013 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法。
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