二次离子质谱 氧

本专题涉及二次离子质谱 氧的标准有3条。

国际标准分类中，二次离子质谱 氧涉及到金属材料试验、半导体材料。

在中国标准分类中，二次离子质谱 氧涉及到半金属及半导体材料分析方法、元素半导体材料。

国家质检总局，关于二次离子质谱 氧的标准

• GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

行业标准-电子，关于二次离子质谱 氧的标准

• SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

美国材料与试验协会，关于二次离子质谱 氧的标准

• ASTM F1366-92(1997)e1 用二次离子质谱法测量重掺杂硅衬底中氧浓度的标准试验方法

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