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半导体芯片几何尺寸测量

本专题涉及半导体芯片几何尺寸测量的标准有5条。

国际标准分类中，半导体芯片几何尺寸测量涉及到半导体材料、词汇。

在中国标准分类中，半导体芯片几何尺寸测量涉及到元素半导体材料。

德国标准化学会，关于半导体芯片几何尺寸测量的标准

• DIN 50441-2:1998 半导体工艺材料的试验.半导体芯片几何尺寸的测量.第2部分:棱角剖面的试验
• DIN 50441-1:1996 半导体工艺材料试验.半导体片几何尺寸测量.第1部分:厚度和厚度变化
• DIN 50441-5:2001 半导体技术试验.半导体片几何尺寸测定.第5部分:形状和平整度偏差术语
• DIN 50441-4:1999 半导体工艺用材料的试验.半导体圆片几何尺寸的测定.第4部分:圆片直径,直径变化量,扁片直径,扁片长度和扁片厚度
• DIN 50441-3:1985 半导体工艺材料的检验.第3部分:半导体切片几何尺寸的测量.第3部分:用多射线干涉法测定抛光切片的平面偏差

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