ASTM F1527-02
ASTM F1527-02
- 标准号
- ASTM F1527-02
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1527-02
- 引用标准
- ASTM D5127 ASTM F1241 ASTM F1392 ASTM F1393 ASTM F1529 ASTM F1530 ASTM F1618 ASTM F2074 ASTM F43 ASTM F525 ASTM F533 ASTM F672 ASTM F673 ASTM F723 ASTM F81 ASTM F84 ISO 10012-1 ISO 8402
- 1.1 本指南涵盖了硅片电阻率测量中认证参考材料 (CRM) 的应用。具体来说，本指南涵盖了如何使用这些 CRM 来制备电阻率参考晶圆以及确保用于制备它们的仪器的质量。 1.2 本指南尚未针对硅以外的电子材料的应用进行评估。 1.3 本指南涵盖了电阻率参考晶片材料的选择、准备和校准电阻率参考晶片的程序以及电阻率参考晶片在鉴定、校准和控制各种类型电阻率仪器中的...