北京亚科晨旭科技有限公司

400-6699-1171000

分析测试百科网 认证会员,请放心拨打!

热门搜索:
首页 > 产品展示 > 微纳加工平台 > EVG 301 Single Wafer Cleaning System单晶圆清洗系统

EVG 301 Single Wafer Cleaning System单晶圆清洗系统

分享:
咨询留言
参考报价: 面议 型号: EVG 301 单晶圆清洗系统
品牌: EVG 产地: 奥地利
关注度: 4 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
产地属性欧洲

EVG 301  Single Wafer Cleaning System

EVG 301  单晶圆清洗系统

 

研发型单晶圆清洗系统

 

EVG301半自动化单晶片清洗系统采用一个清洗站,该清洗站使用标准的去离子水冲洗以及超音速,毛刷和稀释化学药品作为附加清洗选项来清洗晶片。

EVG301具有手动加载和预对准功能,是一种多功能的RD型系统,适用于灵活的清洁程序和300 mm的能力。

EVG301系统可与EVG的晶圆对准和键合系统结合使用,以消除晶圆键合之前的任何颗粒。旋转夹头可用于不同的晶圆和基板尺寸,从而可以轻松设置不同的工艺。

 

特征

使用1 MHz的超音速喷嘴或区域传感器(可选)进行高效清洁

单面清洁刷(选件)

用于晶圆清洗的稀释化学品

防止从背面到正面的交叉污染

完全由软件控制的清洁过程

 

选件

带有红外检查的预粘接台

SEMI标准基材的工具

技术数据

晶圆直径(基板尺寸)200100-300毫米

清洁系统:开室,旋转器和清洁臂

腔室:由PPPFA制成(可选)

咨询:182 6326 2536(微信同号)

EVG 301 Single Wafer Cleaning System单晶圆清洗系统信息由北京亚科晨旭科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于EVG 301 Single Wafer Cleaning System单晶圆清洗系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

EVG 301 Single Wafer Cleaning System单晶圆清洗系统 - 相关产品

移动版: 资讯 Webinar 仪器谱

Copyright ©2007-2021 ANTPEDIA, All Rights Reserved

京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号