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电子探针X射线显微分析仪简介

2021.10.26

  电子探针X射线显微分析仪,简称电子探针。是指以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,并根据X射线的波长和强度,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理仪器。电子探针分析的原理是以电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线。不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。通过鉴别其特征波长或特征能量就可以确定所分析的元素。电子探针有三种基本工作方式:一是点分析,用于选定点的全谱定性分析或定量分析;二是线分析,用于显示元素沿选定直线方向上的浓度变化;三是面分析,用于观察元素在选定微区内浓度分布。

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