硅片性能参数 1、型号(P型和N型,P型多晶硅是掺B,N型多晶硅是掺P) 2、电阻率 3、少数载流子寿命 4、硅片边长 5、对角线长度 6、倒角 7、厚度 8、总厚度变化...
风向风速自记仪的传感器属于非热式微型测风传感器,结构简单,能实现风速风向的单片测量,采用电容作为测量信号,功耗低,温漂小、响应快。介绍了传感器的结构和工作原理,分析了传感器输出电容、可动极板的弯曲形变以及可动极板2个方向的固有频率,得出了可动极板在厚度方向上比在高度方向较易弯曲形变的结论。从理论上计算了 传感器输出电容和风速风向的变化关系,为传感器设计了一套基于MEMS体硅工艺的制作流程。...
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