GB/T 6621-1995
硅抛光片表面平整度测试方法

Test methods for surface flatness of silicon polished slices

GBT6621-1995, GB6621-1995

2010-06

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GB/T 6621-1995
标准号
GB/T 6621-1995
别名
GBT6621-1995
GB6621-1995
发布
1995年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 6621-2009
当前最新
GB/T 6621-2009
 
 
本标准规定了用相干光的干涉现象测量硅抛光片表面平整度的方法。 本标准适用于检测硅拋光片的表面平整度，也适用于检测硅外延片和类镜面状半导体晶片的表面平整度。

GB/T 6621-1995相似标准

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GB/T 6621-1995 中可能用到的仪器设备

椭偏仪 扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM 其它光学测量仪 光学位移台 光学调整架 光源/氙灯光源/汞灯光源 工业显微镜/工具显微镜 流变仪 白光干涉测厚仪 比表面积仪/动态法 抛光机/磨抛机/磨样机 动物行为学研究仪器 晶圆处理和测试 传感器/敏感元件 干涉仪

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