GB/T 12964-2003
硅单晶抛光片
Monocrystalline silicon polished wafers
GB/T 12964-2003 发布历史
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。
GB/T 12964-2003由国家质检总局 CN-GB 发布于 2003-06-16，并于 2004-01-01 实施。
GB/T 12964-2003 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 12964-2003的历代版本如下：
- 2003年06月16日 GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片
- 2018年09月17日 GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片
GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片 于 2018-09-17 00:00:00.0 变更为 GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片。
- 标准号
- GB/T 12964-2003
- 发布日期
- 2003年06月16日
- 实施日期
- 2004年01月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 12964-2018
- 被代替标准
- GB/T 12964-1996
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。