ASTM E2246-02
用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

被代替

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标准号

ASTM E2246-02

发布

2002年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E2246-05

当前最新

ASTM E2246-11(2018)

 

 

1.1 本测试方法涵盖了测量反射薄膜应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用干涉仪对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。1.2 该测试方法使用能够获取地形 3D 数据集的非接触式光学干涉仪。它是在实验室中进行的。1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立...

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