ASTM E2246-02
用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer


ASTM E2246-02 发布历史

ASTM E2246-02由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2002。

ASTM E2246-02 在中国标准分类中归属于: N50 物质成份分析仪器与环境监测仪器综合。

ASTM E2246-02的历代版本如下：

  • 2018年 ASTM E2246-11(2018) 使用光学干涉仪的薄的反射膜的应变梯度测量的标准测试方法
  • 2011年 ASTM E2246-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
  • 2011年 ASTM E2246-11 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
  • 2005年 ASTM E2246-05 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
  • 2002年 ASTM E2246-02 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法

 

1.1 本测试方法涵盖了测量反射薄膜应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用干涉仪对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。

1.2 该测试方法使用能够获取地形 3D 数据集的非接触式光学干涉仪。它是在实验室中进行的。

1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

标准号
ASTM E2246-02
发布
2002年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM E2246-05
当前最新
ASTM E2246-11(2018)
 
 

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ASTM E2246-02 中可能用到的仪器设备

白光干涉测厚仪 薄膜应力测试仪

谁引用了ASTM E2246-02 更多引用

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