ASTM E2244-11e1由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2011。
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1.1 该测试方法涵盖了测量图案化薄膜的面内长度(包括偏转)的程序。它仅适用于薄膜,例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜,可以使用光学干涉仪(也称为干涉显微镜)对其进行成像。 1.2 还有其他方法可以确定平面内长度。使用设计尺寸通常比使用光学干涉显微镜测量提供更精确的面内长度值。 (干涉测量通常比使用光学显微镜进行的测量更精确。)该测试方法适用于当干涉测量优于使用设计尺寸时(例如,测量面内偏转时以及在未经证实的情况下测量长度时)。制作工艺)。 1.3 该测试方法使用非接触式光学干涉显微镜,能够获取地形3D数据集。它是在实验室进行的。 1.4 测量的最大面内长度由干涉显微镜在最低放大倍率下的最大视场决定。测量的最小偏转由干涉显微镜在最高放大倍率下的像素到像素间距确定。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
n21:样品的折射率n2与内反射元件的折射率n1的比值; λ1=λ/n1,为红外光在内反射元件中的波长。 操作规范 (1)光滑柔软的样品,如橡胶,薄膜,柔软基底上的涂料等等,使用微小的压力就可以良好接触,因此只需要样品的一小部分面积将就可以得到谱图。(2)对于粘性固体,半固体,糊状物,将它们放在内反射元件(IRE)晶体上,就可以得到良好的物理及光学接触。 ...
LAYERTEC的标准检验流程包括基板的干涉测量和涂层光学元件在波长范围为120纳米到20微米的分光光度计测量。在波长范围λ=120纳米至20微米的标准分光光度计测量,使用紫外-可见-近红外分光光度计,真空紫外和傅里叶变换红外分光光度计。通过腔环衰减时间测量法,可以确定R、T=99.5%至99.9999%的高反射率和透射率。这种方法是一种高精度的绝对测量方法。...
VERTEX 80v采用真空光学台,可消除大气中的水蒸气、二氧化碳吸收干扰,从而实现极佳的灵敏度和稳定性,助力进行诸多高难度试验,如高分辨率、超快速扫描、步进扫描测量等。...
工作原理基于傅立叶变换技术测量红外光谱应用领域化工行业不明化学物质鉴定原料纯度测定生物燃料分析(FAME的浓度)测定石油馏分组成功能和结构分析测试聚合物膜和涂层的组成。法庭调查杂质和物质痕量鉴定医药行业采用IR的参考标准中药制剂的真实性测定采用IR的参考标准中药制剂的质量控制;有机原料质量保证。...
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