GB 51037-2014
微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范

Code for construction and acceptance of micro-assembling production line process equipment installation engineering


GB 51037-2014 中,可能用到以下仪器设备

 

高真空镀膜机 Leica EM ACE600

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徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

 

Leica EM TXP自动修块抛光机

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徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

 

Gatan 精密刻蚀镀膜系统PECS II 685

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

Gatan氩离子抛光系统Ilion II 697

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

 微型振镜/微型扫描镜

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上海昊量光电设备有限公司

 

工业3D自动扫描测量仪SED500

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卡尔蔡司(上海)管理有限公司

 

 脉宽可调皮秒激光种子源

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上海昊量光电设备有限公司

 

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北京布拉德科技发展有限公司

 

 filmetrics 台式膜厚测试仪 F20

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上海纳腾仪器有限公司

 

飞秒激光微加工系统

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上海昊量光电设备有限公司

 

 真空束线稳定系统

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上海昊量光电设备有限公司

 

基恩士 三轴混合式激光刻印机 MD-X

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基恩士(中国)有限公司

 

大恒 叉式压板

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John&Wiley约翰威立商务服务(北京)有限公司

 

专用于3D扫描DMD空间光调制器

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上海昊量光电设备有限公司

 

 光电流基础测试探针台

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上海昊量光电设备有限公司

 

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光参数测试仪

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上海和晟仪器科技有限公司

 

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优尼康科技有限公司

 

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ATGX310系列_光学薄膜厚度测量仪

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F60-t 薄膜厚度测量仪

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优尼康科技有限公司

 

防酸碱服喷溅喷射液密性测试仪

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薄膜厚度测量系统TF200

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BenchBot微孔板操纵微型机械臂

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安捷伦科技(中国)有限公司

 

赛默飞 Polar Accel 250 LC 冷却/加热循环器

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赛默飞 ThermoChill III 循环冷却器

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Q300R T型 大腔室、多功能离子溅射镀膜仪

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GB 51037-2014

标准号
GB 51037-2014
发布
2014年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB 51037-2014
 
 
引用标准
GB 50169 GB 50303 GB 50467 GB 50472
本规范适用于新建、改建及扩建的微组装生产线工艺设备的安装工程施工、调试、试运行及验收。

GB 51037-2014相似标准


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GB 51037-2014 中可能用到的仪器设备

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