GB/T 14146-1993
硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
GB/T 14146-1993 发布历史
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为10～10cm。
GB/T 14146-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-02-06，并于 1993-10-01 实施，于 2010-06-01 废止。
GB/T 14146-1993 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。
GB/T 14146-1993的历代版本如下：
- 1993年02月06日 GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
- 2009年10月30日 GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法
- 2021年05月21日 GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法。
- 标准号
- GB/T 14146-1993
- 发布日期
- 1993年02月06日
- 实施日期
- 1993年10月01日
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 29.040.30
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 14146-2009
- 适用范围
- 本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为1013～1018cm-3。