GB/T 14146-1993
硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
- 标准号
- GB/T 14146-1993
- 发布日期
- 1993年02月06日
- 实施日期
- 1993年10月01日
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 29.040.30
- 发布单位
- 国家质检总局
- 代替标准
- GB/T 14146-2009
- 适用范围
- 本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为1013～1018cm-3。
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