ISO 14644-2:2015
洁净室和相关控制环境. 第2部分: 用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration


ISO 14644-2:2015 中,可能用到以下耗材

 

ISO 14644-2:2015

标准号
ISO 14644-2:2015
发布
2015年
中文版
GB/T 25915.2-2021 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 14644-2:2015
 
 
引用标准
ISO 14644-12 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-4:2001 ISO 21501-4:2007 ISO 31000:2009

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