紫外半导体检测

本专题涉及紫外半导体检测的标准有19条。

国际标准分类中，紫外半导体检测涉及到半导体分立器件、声学和声学测量、集成电路、微电子学、半导体材料。

在中国标准分类中，紫外半导体检测涉及到半导体分立器件综合、计算机应用、半导体集成电路、元素半导体材料。

国际电工委员会，关于紫外半导体检测的标准

• IEC 63068-3:2020 半导体器件.功率器件用碳化硅同质外延片中缺陷的无损识别标准.第3部分:用光致发光法检测缺陷的试验方法
• IEC 63068-3-2020 半导体器件.功率器件用碳化硅同质外延片中缺陷的无损识别标准.第3部分:用光致发光法检测缺陷的试验方法
• IEC 60749-27 Edition 2.1-2012 半导体器件.机械和气候试验方法.第27部分:静电放电(ESD)敏感度检测.机械模型(MM)
• IEC 60749-35-2006 半导体器件.机械和气候试验方法.第35部分:塑封电子器件的超声显微检测方法
• IEC 60749-16:2003 半导体器件 - 机械和气候测试方法 - 第16部分:粒子撞击噪声检测（PIND）

德国标准化学会，关于紫外半导体检测的标准

• DIN EN 60749-35-2007 半导体器件.机械和气候试验方法.第35部分:塑封电子器件的声学显微检测方法
• DIN 50443-1-1988 半导体工艺使用材料的检验.第1部分:用X射线外形测量法检测半导体单晶硅中晶体缺陷和不均匀性

，关于紫外半导体检测的标准

• CSN 35 8781-1983 混合和检测半导体超高频二极管．电气参数的测量方法

欧洲电工标准化委员会，关于紫外半导体检测的标准

• EN 60749-35-2006 半导体器件.机械和气候试验方法.第35部分:塑封电子器件的声学显微检测方法

法国标准化协会，关于紫外半导体检测的标准

• NF C96-022-16-2003 半导体装置.机械和气候试验方法.第16部分:微粒碰撞噪声检测(PIND)

美国国防后勤局，关于紫外半导体检测的标准

• DLA SMD-5962-88533 REV C-1994 硅单片误差检测与校正的单位互补型金属氧化物半导体数字微电路
• DLA SMD-5962-92122 REV B-1993 硅单块 32比特通流误差检测和校正装置,互补金属氧化物半导体,数字微型电路
• DLA SMD-5962-88613 REV B-1991 硅单片16位误码检测与校正部件互补型金属氧化物半导体数字微电路

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