硅片厚度仪

本专题涉及硅片厚度仪的标准有16条。

国际标准分类中，硅片厚度仪涉及到金属材料试验、半导体材料、绝缘流体、有色金属、太阳能工程。

在中国标准分类中，硅片厚度仪涉及到金属物理性能试验方法、半金属与半导体材料综合、半金属、太阳能、化合物半导体材料。

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅片厚度仪的标准

• GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

国家质检总局，关于硅片厚度仪的标准

• GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
• GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
• GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法
• GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法

，关于硅片厚度仪的标准

• KS D 0259-2012(2017) 测量的厚度 厚度不均或弓硅片方法

韩国标准，关于硅片厚度仪的标准

• KS D 0259-2012 硅片的厚度、厚度变化和弯曲度的测定方法

德国标准化学会，关于硅片厚度仪的标准

• DIN V VDE V 0126-18-2-2-2007 太阳能硅片.第2-2部分:硅片几何尺寸的测量.厚度的变化
• DIN V VDE V 0126-18-2-1-2007 太阳能硅片.第2-1部分:硅片几何尺寸的测量.硅片厚度

美国材料与试验协会，关于硅片厚度仪的标准

• ASTM F533-96 硅片厚度和厚度变化的标准试验方法
• ASTM F533-02 硅片厚度和厚度变化的标准试验方法
• ASTM F533-2002 硅片的厚度及厚度变化的标准试验方法
• ASTM F533-1996 硅片的厚度及厚度变化的标准试验方法
• ASTM F1530-94 用自动非接触扫描法测量硅片平整度和厚度变化的标准试验方法
• ASTM F1530-1994 用自动无触点扫描法测量硅片平整度、厚度和厚度变化的标准试验方法

日本工业标准调查会，关于硅片厚度仪的标准

• JIS H0611-1994 硅片厚度、厚度变化及弯曲的测量方法

本站其他标准专题： 硅片厚度仪，硅片 厚度仪，镜片厚度仪，叶片厚度仪。

 

可能用到的仪器设备