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Halbleitertestanalyse

Für die Halbleitertestanalyse gibt es insgesamt 4 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Halbleitertestanalyse die folgenden Kategorien: .


HU-MSZT, Halbleitertestanalyse

German Institute for Standardization, Halbleitertestanalyse

  • DIN 50452-1:1995-11 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Prüfverfahren zur Partikelanalyse in Flüssigkeiten – Teil 1: Mikroskopische Bestimmung von Partikeln
  • DIN 50452-3:1995-10 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Prüfverfahren zur Partikelanalyse in Flüssigkeiten – Teil 3: Kalibrierung optischer Partikelzähler
  • DIN 50452-2:2009-10 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Prüfverfahren zur Partikelanalyse in Flüssigkeiten – Teil 2: Bestimmung von Partikeln durch optische Partikelzähler




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