ISO 14644-15:2017
洁净室和相关受控环境. 第15部分：用空气化学浓度评估设备和材料的适用性
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
- 标准号
- ISO 14644-15:2017
- 发布
- 2017年
- 中文版
- GB/T 25915.15-2022 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-15:2017
- 引用标准
- ISO 14644-10:2013 ISO 14644-14:2016 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-8:2013 ISO 16000-6:2011 ISO 16000-9:2006 ISO 2889:2010 ISO 8573-8:2004 JIS B 9926:1991 VDI 2083 Blatt 9.1-2006
- 适用范围
- 本文件提供了评估预期用于洁净室和相关受控环境的设备和材料的化学空气清洁度的要求和指南，这些设备和材料与按化学浓度划分的清洁度等级 ISO 标准相关（参见 ISO 14644-8）。 以下内容不属于本文件的范围： ——健康和安全要求； ——与清洁剂和技术的兼容性； ——清洁性； ——生物污染； ——工艺和产品的设备和材料的具体要求； ——设备的设计细节。