找不到引用T/CNIA 0117-2021 的标准
近年来,随着极大规模集成电路产业的发展,高纯氢氟酸、高纯硝酸的使用范围越来越广,面对技术指标不统一、执行标准不一致的现状,在全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会的组织下,ICAS英格尔协同国内外专业机构,共同起草制定了T/CNIA0117-2021《电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法》以及T/CNIA0119-2021《电子工业用硝酸中痕量阴离子含量的测定...
湿电子化学品谱睿技术检测方案以高纯氢氟酸检测为例,SEMI推荐赛默飞的谱睿二维方案,一维色谱中使用排斥柱将氟离子和其他常见阴离子预分离,通过调节保留时间窗口,将高浓度的氟离子排到废液中,其他阴离子被选择性浓缩富集,富集的阴离子部分在二维色谱中通过离子交换方式实现分离检测,实现对高纯氢氟酸中痕量阴离子杂质的检测。...
SEMI组织在2018年C3.39-1011中,对三氟化氮的纯度要求要达到 99.98% 以上,对氟离子的限量要求为小于0.1ppm,用的是氟离子选择性电极测定方法。该方法操作繁琐,影响因素多,且重复性不佳。在GB/T21287-2021电子特气三氟化氮中 气体纯度要求达到5N级,氟离子的限量要求为0.5ppm,已采用离子色谱法测定氟离子的含量,分析效率大大提高。 ...
氢氟酸中常见阴离子谱图浓磷酸的离子排斥色谱图(1. 强酸离子;2. 磷酸根)浓磷酸中常见阴离子谱图高纯试剂——浓硝酸中阴离子弱酸的方案我们得到了解决,那么无机强酸中的阴离子怎么去解决呢?...
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