T/CNIA 0062-2020
电子工业用高纯氢氟酸

High-purity hydrofluoric acid for electronics industry

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标准号: T/CNIA 0062-2020
发布: 2020年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/CNIA 0062-2020

适用范围: 本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。

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OENORM EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

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NBN T 03-513-1983 工业用含水氢氟酸．取样和试验方法

CH-SNV

SN EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

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行业标准-电力

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NF ISO 14869-1:2001 土壤质量总元素含量测定第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解 NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸） NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第3部分：氢氟酸和颗粒氟化物 NF X43-211-3*NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第3部分：氢氟酸和粒状氟化物 NF X31-428-3*NF ISO 14869-3:2017 土壤质量测定总元素含量的溶解法第3部分：使用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸溶解 NF ISO 14869-3:2017 土壤质量测定总元素含量的溶液处理第 3 部分：采用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸进行溶液处理 NF X30-435*NF EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和垃圾. 用盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氢氟酸(HF)混合物进行消解,以便随后测定元素 NF X43-211-2*NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除了氢氟酸之外的挥发酸(盐酸、氢溴酸和硝酸) NF T20-337:1984 工业用含水氢氟酸.取样和试验方法 NF X31-428-1*NF ISO 14869-1:2001 土壤质量.为测定总元素含量进行的溶解作用.第1部分:使用氢氟酸和过氯酸的溶解 NF X43-304:2007 固定源辐射.用氢氟酸(HF)含量值表示的氟化物浓度的测量.人工法

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OS GSO ISO 14869-1:2014 土壤质量总元素含量测定溶解度第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度 BH GSO ISO 14869-3:2022 土壤质量总元素含量测定的溶解度第3部分：采用加压微波技术的氢氟酸、盐酸和硝酸溶解度 BH GSO ISO 14869-1:2016 土壤质量总元素含量测定溶解度第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度 GSO ISO 14869-1:2014 土壤质量总元素含量测定溶解度第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度 GSO ISO 14869-3:2021 土壤质量总元素含量测定的溶解度第3部分：采用加压微波技术的氢氟酸、盐酸和硝酸溶解度

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日本工业标准调查会

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