KS M 1804-2023
半导体用氢氟酸试验方法

Test method of hydrofluoric acid for semi-conductor

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标准号: KS M 1804-2023
发布: 2023年
发布单位: 韩国科技标准局
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氢氟酸测试方法

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DIN 50451-6 E:2012-11 半导体工艺用材料测试液体中痕量元素测定第6部分：测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素

AENOR

UNE-EN 13656:2003 废物表征用氢氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和盐酸（HCl）混合酸进行微波辅助消解，用于随后的元素测定 UNE-ISO 14869-1:2007 土壤质量用于测定总元素含量的溶出度第1部分：用氢氟酸和高氯酸溶解（ISO 14869-1:2001）

AT-ON

OENORM EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

BE-NBN

NBN T 03-513-1983 工业用含水氢氟酸．取样和试验方法

CH-SNV

SN EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

台湾地方标准

CNS 4765-1986 不锈钢之硝酸–氢氟酸腐蚀试验法

行业标准-电力

DL/T 502.3-2006 火力发电厂水汽分析方法.第3部分:全硅的测定(氢氟酸转化分光光度法)

国家质检总局

GB/T 5195.9-1985 氟石化学分析方法 氢氟酸重量法测定二氧化硅量 GB/T 4334.4-2000 不锈钢硝酸 氢氟酸腐蚀试验方法 GB/T 12148-1989 锅炉用水和冷却水分析方法全硅的测定低含量硅氢氟酸转化法 GB/T 12148-2006 锅炉用水和冷却水分析方法全硅的测定低含量硅氢氟酸转换法 GB/T 6901.3-1986 硅质耐火材料化学分析方法 氢氟酸重量法测定二氧化硅量 GB/T 6901.3-2004 硅质耐火材料化学分析方法第3部分;氢氟酸重量法测定二氧化硅量

行业标准-化工

HG/T 4335.9-2012 酸类物质泄漏的处理处置方法第9部分：氢氟酸

行业标准-石油化工

SH/T 0696-2000 FCC平衡催化剂中镍和钒测定法(氢氟酸/硫酸分解-原子光谱分析法)

中国团体标准

T/NAIA 0125-2022 工业氢氟酸总酸度测定自动电位滴定法 T/CNIA 0118-2021 电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 T/CNIA 0117-2021 电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定离子色谱法

德国标准化学会

DIN ISO 14869-1:2003-01 土壤质量测定总元素含量的溶解度第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度 DIN 50451-2:2003-04 半导体技术材料的测试 - 液体中微量元素的测定 - 第 2 部分：钙 (Ca)、钴 (Co)、铬 (Cr)、铜 (Cu)、铁 (Fe)、镍 (Ni) 和锌 (Zn) ）在氢氟酸中，采用等离子体诱导发射光谱... DIN EN 13656:2019 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消化，以便随后测定元素 DIN EN 13656:2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消化，以便随后测定元素；德文版 EN 13656:2020 DIN ISO 14869-1:2003 土质.测定元素总含量的溶解法.第1部分:用氢氟酸和过氯酸溶解 DIN 50451-6:2014 半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素 DIN 50451-2:2003 半导体工艺材料测试.液体中痕量元素测定.第2部分:用等离子感应发射分光光度测定法测定氢氟酸中钴(Co)、铬(Cr)、铜(Ca)、铁(Fe)和镍(Ni)的含量 DIN EN 13656:2003 废弃物特性.废弃物元素的连续测定用微波辅助的氢氟酸(HF)、硝酸(HNO₃ 和盐酸(HCl)混合物的分解; 德文版本 EN 13656:2002

丹麦标准化协会

DS/EN 13656:2003 废物表征用氢氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和盐酸（HCl）混合酸进行微波辅助消解，用于随后的元素测定 DS/EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 - 用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO₃) 和四氟硼酸 (HBF₄) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物进行消解，以便随后测定元素

法国标准化协会

NF ISO 14869-1:2001 土壤质量总元素含量测定第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解 NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸） NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第3部分：氢氟酸和颗粒氟化物 NF X43-211-3*NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气离子色谱法测定无机酸第3部分：氢氟酸和粒状氟化物 NF X31-428-3*NF ISO 14869-3:2017 土壤质量测定总元素含量的溶解法第3部分：使用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸溶解 NF ISO 14869-3:2017 土壤质量测定总元素含量的溶液处理第 3 部分：采用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸进行溶液处理 NF X30-435*NF EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和垃圾. 用盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氢氟酸(HF)混合物进行消解,以便随后测定元素 NF X43-211-2*NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除了氢氟酸之外的挥发酸(盐酸、氢溴酸和硝酸) NF T20-337:1984 工业用含水氢氟酸.取样和试验方法 NF X31-428-1*NF ISO 14869-1:2001 土壤质量.为测定总元素含量进行的溶解作用.第1部分:使用氢氟酸和过氯酸的溶解 NF X43-304:2007 固定源辐射.用氢氟酸(HF)含量值表示的氟化物浓度的测量.人工法

英国标准学会

BS ISO 21438-2:2010 工作场所空气利用色谱分析法测定无机酸除氢氟酸（盐酸、氢溴酸和硝酸）之外的挥发酸 19/30397547 DC BS EN 13656 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氢氟酸(HF)酸混合物消解以便随后测定元素 22/30440721 DC BS ISO 21438-2 职场氛围离子色谱法测定无机酸第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸） BS ISO 21438-2:2024 职场氛围离子色谱法测定无机酸挥发酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸） BS ISO 14869-3:2017 土壤质量. 溶解测定元素总含量. 采用加压微波技术溶解氢氟酸, 盐酸和硝酸 BS ISO 21438-2:2009 工作场所空气.利用色谱分析法测定无机酸.除氢氟酸(盐酸,氢溴酸和硝酸)之外的挥发酸 BS ISO 21438-3:2010 工作场所空气.离子色谱法测定无机酸.氢氟酸和氟化物微粒

印度尼西亚标准

SNI 07-3115-1992 不锈钢抗非规则打击性能测试方法. 硝酸与氢氟酸测试

IT-UNI

UNI EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

欧洲标准化委员会

EN 13656:2002 废弃物特性.废弃物元素的连续测定用微波辅助的氢氟酸(HF),硝酸(HNO3) 和盐酸(HCl)混合物的分解 EN 13656:2020 废弃物特性.废弃物元素的连续测定用微波辅助的氢氟酸(HF),硝酸(HNO3) 和盐酸(HCl)混合物的分解

国际标准化组织

ISO/DIS 21438-2 工作场所大气《离子色谱法测定无机酸》第2部分：挥发性酸，氢氟酸（盐酸、氢溴酸和硝酸）除外 ISO/FDIS 21438-2:2023 工作场所气氛离子色谱法测定无机酸第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸） ISO 14869-1:2001 土壤质量元素总含量测定用分解第1部分：用氢氟酸和高氯酸的分解 ISO 14869-3:2017 土壤质量. 溶解测定元素总含量. 第3部分: 采用加压微波技术溶解氢氟酸, 盐酸和硝酸 ISO 21438-2:2009 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除氢氟酸之外的挥发酸(盐酸,氢溴酸及硝酸) ISO 21438-3:2010 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第3部分:氢氟酸和氟化物微粒 ISO 3139:1976/Amd 1:1980 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法修改1 ISO 3139:1976 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法

日本工业标准调查会

JIS G 0574:1980 不锈钢用硝酸-氢氟酸试验方法 JIS K 1466:1995 半导体级氢氟酸的检验方法

韩国科技标准局

KS M 1804-2008(2018) 氢氟酸用于半导体测试方法 KS I ISO 21438-3-2012(2017) 工作场所大气离子色谱法测定无机酸第3部分:氢氟酸和颗粒氟化物 KS D 0224-2016 不锈钢的硝酸-氢氟酸试验方法 KS M ISO 3139:2016 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法 KS M ISO 3139-2016(2021) 工业用水氢氟酸取样和试验方法 KS I ISO 14869-1:2018 土壤质量 - 用于测定总元素含量的溶解度 - 第1部分:用氢氟酸和高氯酸溶解 KS I ISO 21438-2:2019 工作场所空气 - 离子色谱法无机酸测定 - 第2部分:易失性的酸除了氢氟酸（盐酸氢溴酸和硝酸） KS D 0224-2021 不锈钢硝酸-氢氟酸试验方法 KS I ISO 14869-1:2007 土壤质量.元素总含量测定用分解.第1部分:用氢氟酸和高氯酸的分解 KS I ISO 21438-3:2012 工作场所空气.利用离子色谱法测量无机酸.第3部分:氢氟酸与颗粒状氟化物 KS I ISO 21438-2:2013 工作场所空气.用离子色谱法测定无机酸.第2部分:除氢氟酸外的挥发性酸(盐酸、氢溴酸和硝酸) KS M ISO 3139:2011 工业用含水氢氟酸.取样和试验方法 KS M 1804-2008 半导体用氢氟酸试验方法 KS D 0224-2005 不锈钢硝酸.氢氟酸腐蚀试验方法

KR-KS

KS M 1804-2008(2023) 半导体用氢氟酸试验方法 KS M ISO 3139-2016 工业用水氢氟酸取样和试验方法 KS I ISO 14869-1-2018 土壤质量 - 用于测定总元素含量的溶解度 - 第1部分:用氢氟酸和高氯酸溶解 KS I ISO 21438-2-2019 工作场所空气 - 离子色谱法无机酸测定 - 第2部分:易失性的酸除了氢氟酸（盐酸氢溴酸和硝酸） KS I ISO 21438-3-2022 工作场所大气无机酸的离子色谱测定第3部分:氢氟酸和颗粒氟化物

立陶宛标准局

LST EN 13656-2003 废物表征用氢氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和盐酸（HCl）混合酸进行微波辅助消解，用于随后的元素测定 LST EN 13656-2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消解，以便随后测定元素

PL-PKN

PN-EN 13656-2021-05 E 土壤、处理过的生物废弃物、污泥和废弃物用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消化，用于随后的元素测定

RU-GOST R

GOST R ISO 21438-3-2012 工作场所的大气环境. 采用离子色谱法对无机酸的测定. 第3部分. 氢氟酸和粒状氟化物 GOST R ISO 21438-2-2012 工作场所的大气环境. 采用离子色谱法对无机酸的测定. 第2部分. 挥发酸, 氢氟酸除外 (盐酸, 氢溴酸和硝酸)

TH-TISI

TIS 1968-2000 工业用含水氢氟酸.取样和试验方法

美国材料与试验协会

ASTM D1977-98 氢氟酸/硫酸分解和原子光谱分析FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法 ASTM D1977-16 采用氢氟酸和硫酸分解和原子光谱分析法测定FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法 ASTM D1977-22 氢氟酸/硫酸分解和原子光谱分析FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法 ASTM D1977-03(2008) 用氢氟酸/硫酸分解和原子光谱法分析FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法 ASTM D1977-03 用氢氟酸/硫酸分解和原子光谱法分析FCC平衡催化剂中镍和钒的标准试验方法

VN-TCVN

TCVN 7370-1-2004 土质.总元素含量测定用分解性.第1部分:用氢氟酸和高氯酸进行分解 TCVN 7243-2003 医疗用固体废物焚化炉.废气中氢氟酸浓度(HF)的测定方法

工业和信息化部

YB/T 175-2017 金刚砂碳化硅含量的测定 氢氟酸重量法 SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

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