GB/T 12965-1996
硅单晶切割片和研磨片

Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slices

GBT12965-1996, GB12965-1996

2006-04

 

 

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标准号
GB/T 12965-1996
别名
GBT12965-1996, GB12965-1996
发布
1996年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 12965-2005
当前最新
GB/T 12965-2018
 
 
被代替标准
GB 12965-1991
适用范围
本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片,硅片直径范围为50.8~125mm。产品用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成硅抛光片。

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