本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片,硅片直径范围为50.8~125mm。产品用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成硅抛光片。
GB/T 12965-1996由国家质检总局 CN-GB 发布于 1996-11-04,并于 1997-04-01 实施。
GB/T 12965-1996 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
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