GB/T 12963-2009
硅多晶
Specification for polycrystalline silicon
GB/T 12963-2009 发布历史
本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
GB/T 12963-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30，并于 2010-06-01 实施，于 2015-09-01 废止。
GB/T 12963-2009 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 12963-2009 发布之时，引用了标准
- GB/T 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法
- GB/T 1553-2009 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
- GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法
- GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
- GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
- GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
- GB/T 13389-1992 掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
- GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 12963-2009的历代版本如下：
- 1996年11月04日 GB/T 12963-1996 硅多晶
- 2009年10月30日 GB/T 12963-2009 硅多晶
- 2014年12月31日 GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
GB/T 12963-2009 硅多晶 由 GB/T 12963-1996 变更而来。
GB/T 12963-2009 硅多晶 于 2014-12-31 变更为 GB/T 12963-2014 电子级多晶硅。
- 标准号
- GB/T 12963-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 2015-09-01
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 1550-1997 GB/T 1553-2009 GB/T 1558-2009 GB/T 4059-2007 GB/T 4060-2007 GB/T 4061-2009 GB/T 13389-1992 GB/T 14264-2009 ASTM F1723-2002
- 代替标准
- GB/T 12963-2014
- 被代替标准
- GB/T 12963-1996
- 适用范围
- 本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。