EN 62047-25-2016

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area

 

 

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标准号
EN 62047-25-2016
发布日期
2016年11月01日
实施日期
废止日期
无
国际标准分类号
31.080.99
发布单位
IX-CENELEC

EN 62047-25-2016系列标准

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