ASTM E1217-11
用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号样品面积的标准操作规程

Standard Practice for Determination of the Specimen Area Contributing to the Detected Signal in Auger Electron Spectrometers and Some X-Ray Photoelectron Spectrometers


ASTM E1217-11


标准号
ASTM E1217-11
发布
2011年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM E1217-11(2019)
当前最新
ASTM E1217-11(2019)
 
 
引用标准
ASTM E1016 ASTM E673
俄歇电子能谱和 X 射线光电子能谱广泛用于材料的表面分析。本实践总结了确定对检测信号有贡献的样本区域的方法 (a) 对于仪器,其中聚焦电子束可以在尺寸大于分析仪观察到的样本区域尺寸的区域上进行扫描,以及 (b)通过使用具有锋利边缘的样品。这种做法旨在作为一种确定电子能量分析仪选定操作条件下观察到的样本面积的方法。观察到的样品面积取决于电子在能量分析前是否被延...

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