ASTM E1217-11由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2011。
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ASTM E1217-11 用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号样品面积的标准操作规程的最新版本是哪一版?
最新版本是 ASTM E1217-11(2019) 。
俄歇电子能谱和 X 射线光电子能谱广泛用于材料的表面分析。本实践总结了确定对检测信号有贡献的样本区域的方法 (a) 对于仪器,其中聚焦电子束可以在尺寸大于分析仪观察到的样本区域尺寸的区域上进行扫描,以及 (b)通过使用具有锋利边缘的样品。这种做法旨在作为一种确定电子能量分析仪选定操作条件下观察到的样本面积的方法。观察到的样品面积取决于电子在能量分析前是否被延迟、分析仪通过的能量或延迟比(如果电子在能量分析前被延迟)、所选狭缝或孔径的尺寸以及要计算的电子能量值。测量。观察到的样本区域取决于这些选定的操作条件,并且还可以取决于样本相对于电子能量分析器的对准的充分性。如果常规使用的样本材料具有横向不均匀性且尺寸与观察到的样本区域的尺寸相当,则可能需要知道观察到的样本区域作为测量条件(例如电子能量或分析仪通过能量)的函数的任何变化由分析仪。这种做法可以提供有关电子能量分析仪在特定操作条件下的成像特性的有用信息。此信息有助于将分析仪性能与制造商的规格进行比较。有关分析仪观察到的区域的形状和大小的信息也可用于预测 XPS 实验中样品旋转时的信号强度,并评估样品操纵器的旋转轴。本实践中描述的方法的应用示例已发表 (1-7)。定义光谱仪分析区域的方法有多种。 ISO 技术报告提供了有关在 AES 和 XPS 中测定横向分辨率、分析面积和分析仪查看的样品面积的指南 (8),ISO 18516:2006 描述了在 AES 和 XPS 中测定横向分辨率的三种方法。贝尔和恩格哈德使用了定义明确的“点”来表示。基材上的材料,以确定对“小面积”测量信号有贡献的样本面积。 XPS 测量 (9)。该面积可能是仅根据仪器横向分辨率估计的面积的十倍之多。 “边缘”的强度大小是或“尾巴”;区域也可能高度依赖于镜头操作和样本对准的充分性。 Scheithauer 描述了一种替代技术,其中利用不同直径的 Pt 孔径来确定“长尾”的比例。与 Pt 箔上的光电子信号相比,每个孔径外部的 X 射线对测量的 Pt 光电子信号的贡献 (10)。在商用 XPS 仪器上进行的测试测量中,该仪器具有聚焦 X 射线束,标称横向分辨率为 10 米(根据扫描时最大信号 20% 和 80% 的位置之间的距离确定)边缘),发现约100微米和450微米的孔径直径被重新......
2.X射线荧光光谱仪(XRF)参见体相成分分析X射线荧光光谱仪(XRF)3.俄歇电子能谱仪(AES)原理:具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇效应,通过检测俄歇电子的能量和强度,从而获得有关材料表面化学成分和结构的信息的方法。适合分析材料:金属、高分子等材料,薄膜,涂层等应用领域:半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等。...
这一过程被称之为俄歇效应一元素受激发后辐射出的X射线光子的能量等于受激原子中过渡电子在初始能态和终能态的能量差别,即发射的X射线光子能量与该特定元素的电子能态差成正比X射线荧光光谱仪是来源于样品组成的特征辐射。通过侧定和分析X射线的能量或波长,即可获知其为何种元素,故可用来识别物质组成,定量分析物质中的元素含量。 ...
光电子出射时有可能再次激发出原子中的其他电子,生成的光电子被称为俄歇电子,产生新的光电子。再次这一过程被称之为俄歇效应一元家受激发后辐射出的X射线光子的能量等于受激原子中过渡电子在初始能态和最终能态的能量差别,即发射的X射线光子能量与该特定元素的电子能态差成正比X射线荧光光谱仪是来源于样品组成的特征辐射。...
当较外层的电子跃迁到空穴时,所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子,此称为俄歇效应,亦称次级光电效应或无辐射效应,所逐出的次级光电子称为俄歇电子.它的能量是特征的,与入射辐射的能量无关.当较外层的电子跃入内层空穴所释放的能量不在原子内被吸收,而是以辐射形式放出,便产生X 射线荧光,其能量等于两能级之间的能量差.因此,X射线荧光的能量或波长是特征性的,与元素有一一对应的关系。 ...
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