ASTM D5127-12
电子学和半导体工业用超纯水的标准指南

Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries

被代替

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标准号

ASTM D5127-12

发布

2012年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM D5127-13

当前最新

ASTM D5127-13(2018)

 

 

适用范围

本指南推荐了电子和微电子行业所需的水质。需要高纯度水来防止制造过程中的产品污染，因为污染会导致电子设备的产量不可接受、产量低。水纯度的范围是根据制造工艺确定的。超纯水的类型是根据设备线宽来定义的。在所有情况下，水质建议均适用于分配点。杂质的限制与当前的污染规格和可用的分析方法（在合适的洁净实验室或通过在线仪器进行）有关。根据当前行业惯例采用在线和离线方法。可能需要测量表 1 中所示水平的样品浓度。 表 1 电子和半导体工业分配点的水要求 A 参数类型 E-1 类型 E-1.1 类型 E-1.2B 类型 E-1.3 BType E-2Type E-3Type E-4 线宽（微米）1.0–0.50.35–0.250.18–0.090.065–0.0325.0–1.0>5.0 电阻率, 25&# x00B0;C（在线）18.118.218.218.216.5120.5 TOC (μg/L)（在线为 <10 ppb）5211503001000 在线溶解氧 (μg/ L)2510310 蒸发后在线残留物 (μg/L)10.50.1

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