ASTM D5127-13
电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
- 标准号
- ASTM D5127-13
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D5127-13(2018)
- 当前最新
- ASTM D5127-13(2018)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D1193 ASTM D1976 ASTM D2791 ASTM D3919 ASTM D4191 ASTM D4192 ASTM D4327 ASTM D4453 ASTM D4517 ASTM D5173 ASTM D5196 ASTM D5391 ASTM D5462 ASTM D5542 ASTM D5544 ASTM D5673 ASTM D5996 ASTM D5997 ASTM F1094
- 适用范围
- 1.1 类型 E-1.2B 类型E-1.3B型 E-2型 E-3型 E-4型 线宽（微米） 1.0–0.5 0.35–0.25 0.18x2……
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