GB/T 13389-1992
掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程已作废

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon

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标准号

GB/T 13389-1992

发布日期

1992年02月19日

实施日期

1992年10月01日

废止日期

2015-09-01

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

29.040.30

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 13389-2014

适用范围

本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度10¹²～10²¹cm^-3（电阻率0.0001～10，000Ω·cm）掺硼硅单晶和10¹²～5×10²⁰cm^-3（电阻率0.0002～4，000Ω·cm）掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

GB/T 13389-1992系列标准

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