GB/T 14264-1993
半导体材料术语

Semiconductor materials-Terms and definitions

GBT14264-1993, GB14264-1993

2010-06

GB/T 14264-1993 中,可能用到以下仪器设备

 

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深圳市善时仪器有限公司

 

GB/T 14264-1993

标准号
GB/T 14264-1993
别名
GBT14264-1993
GB14264-1993
发布
1993年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 14264-2009
当前最新
GB/T 14264-2009
 
 
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 本标准适用于元素和化合物半导体材料。

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