2、波普仪与能谱仪的主要性能比较 3、电子探针显微分析的两种方法电子探针分析有两种基本分析方法:定性分析和定量分析。(1)定性分析 定性分析是对试样某一选定点(区域) 进行定性成分分析,以确定点区域内存在的元素。定性分析的原理:用光学显微镜或在荧光屏显示的图像上选定需要分析的点,使聚焦电子束照射在该点上,激发该点试样元素的特征X射线。...
用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品元素的特征x射线。 分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。 分析x射线的强度,则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。 电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是x射线谱仪,专门用来检测x射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。 ...
利用特征X射线波长来确定元素的叫做波谱仪(WDS),利用特征X射线能量不同来展谱的就称为能谱仪(EDS)。电子探针 利用电子显微探针原理和技术来分析样品的仪器。 仪器构造:主要由电子光学系统(镜筒),X射线谱仪和信息记录显示系统组成。 1.电子光学系统 为了提高X射线的信号强度,电子探针必须采用较扫描电镜更高的入射电子束流,常用的加速电压为10-30 KV,束斑直径约为0.5μm。...
电子探针的基本结构电子光学系统晶体分光谱仪X 射线测量记录装置光学显微镜及透射光源样品室自动化分析系统真空及辅助系统扫描显示系统1、电子光学系统产生具有一定能量、 强度和尽可能小直径的电子束, 即产生一个稳定的 X射线激发源。 ...
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