本专题涉及小型溅射仪的标准有92条。
国际标准分类中,小型溅射仪涉及到粒度分析、筛分、流体系统和通用件、分析化学、真空技术、农业机械、工具和设备、半导体材料、建筑物、运动设备和设施、航空器和航天器综合、辐射测量、造船和海上构筑物综合、光学和光学测量、化工产品、金属生产、金属材料试验、无线通信、长度和角度测量、电子元器件综合、声学和声学测量、航空航天制造用材料、润滑剂、工业油及相关产品、泵、辐射防护、防护设备、燃料、核能工程、无损检测、地质学、气象学、水文学、其他家用和商用设备、集成电路、微电子学。
在中国标准分类中,小型溅射仪涉及到物质成份分析仪器与环境监测仪器综合、真空技术与设备、其他生产设备、基础标准与通用方法、加工专用设备、泵、农机具、金属物理性能试验方法、通用核仪器、警用装备与器械、船用主辅机综合、防护用具与设备、计量综合、电子光学与其他物理光学仪器、无线电计量、电磁计量、金属化学分析方法综合、化学、移动通信设备、机械量仪表、自动秤重装置与其他检测仪表、体育用品、波导同轴元件及附件、技术管理、紧固件、复合材料与固体燃料、辐射防护仪器、电离辐射计量、噪声、振动测试方法、、气象仪器、气象学、日用五金制品、X射线、磁粉、荧光及其他探伤仪器、船舶专用装备综合。
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